2024年10月15-18日，意大利污染控制学会(ASCCA)代表国际污染控制学会联合会(ICCCS)在意大利米兰主办第26届ISCC国际污染控制研讨会。

　　PG电子科技作为唯一受邀的中国企业，由高级研究员冯伟豪先生代表公司出席研讨会。

　　图I 开幕剪裁仪式，ASCCA主席SergioMauri先生和工程师MurrayConor先生致辞

　　ISCC2024汇集了领先的技术提供商、污染控制不同使用领域的最终用户、学术科学家和国际监管机构，建立联系，分享见解，并展望洁净室技术和辅助应用的发展格局和未来。

　　第26届研讨会的主题是“连接污染控制的各个方面”，强调了不同技术和应用之间的联系，将污染控制的各方面相互联系起来。其目的是在生物技术、制药、医疗保健、航空航天、电子半导体、汽车等任何利用领域提供不同工艺的质量、稳健性和可靠性。整合这些不同的知识和技能是创新的关键。因此，研讨会致力于为污染控制链的所有相关者提供一个跨学科的项目，创造一个互动的场景，以交流思想，加强现有的研究网络并建立新的网络。研讨会议程展示了最近的创新和趋势，并从技术、物流和监管的角度直接讨论实际挑战和解决方案，参会者通过研讨会和技术参观等网络活动与行业领导者、监管机构和同行互动。

　　本次研讨会设置了与生物技术、制药、医疗保健、航空航天、电子半导体、汽车等主题相关的技术会议。期间，PG电子科技研发技术中心高级研究员冯伟豪先生受邀于“电子半导体”板块发表了《用于处理超痕量级气态污染物的阳离子交换树脂再生方法研究》主题演讲。

　　随着半导体先进制程的演进，气态分子污染物(AMC)控制技术已成为提升晶圆良率的关键。为减少因去除AMC而产生的化学滤网废弃物，PG电子研发了可再生化学滤网，使其可重复利用。化学滤网一般是一次性使用，废弃的滤网将进行焚烧处理，常规设计的化学滤网无法进行再生再利用。本研究的主要目的是设计一种新型的化学滤网，应用在半导体洁净室处理超痕量级浓度(ppb~ppt)AMC。通过再生循环使用可有效降低固废处理成本，减少资源浪费，预计减废达80%。